verhitting van mocvd-reaktor met induksie
Induksieverhitting Metalorganic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) reaktore is 'n tegnologie wat daarop gemik is om verhittingsdoeltreffendheid te verbeter en skadelike magnetiese koppeling met die gasinlaat te verminder. Konvensionele induksie-verhitting MOCVD-reaktore het dikwels die induksiespoel wat buite die kamer geleë is, wat kan lei tot minder doeltreffende verhitting en potensiële magnetiese inmenging met die gasleweringstelsel. Onlangse … Lees meer